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Differenzdrucksensor in Dünnschicht-Mikromechanik

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Differenzdrucksensor in Dünnschicht-Mikromechanik

Dietmar Brunsch (Autor)

Vorschau

Inhaltsverzeichnis, Datei (78 KB)
Leseprobe, Datei (180 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 3898735877
ISBN-13 (Printausgabe) 9783898735872
ISBN-13 (E-Book) 9783736905870
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 140
Auflage 1
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Göttingen
Erscheinungsdatum 01.01.2002
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Maschinenbau und Verfahrenstechnik