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Development, Manufacturing and Characterization of Stacked MESA Photodiodes

Printausgabe
EUR 40,10

E-Book
EUR 28,07

Development, Manufacturing and Characterization of Stacked MESA Photodiodes

Fabian Florek (Autor)

Vorschau

Leseprobe, PDF (120 KB)
Inhaltsverzeichnis, PDF (51 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 9783736993518
ISBN-13 (E-Book) 9783736983519
Sprache Englisch
Seitenanzahl 154
Umschlagkaschierung matt
Auflage 1. Aufl.
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort München, Univ. der Bundeswehr
Erscheinungsdatum 13.09.2016
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Elektrotechnik
Allgemeine Elektrotechnik
Schlagwörter CVD, Chemical Vapour Deposition, Epitaxy, Photodiodes Vertical etching
Beschreibung

Diese Arbeit untersucht das Konzept von gestapelten Fotodioden basierend auf einem MESA Prozess. Eine Fotodiode mit einer vertikalen MESA Struktur ist eine neue Herangehensweise für die Detektion von farbigem Licht. Die Ergebnisse dieser Arbeit zeigen, dass ein Sensor zur Farbdetektion, basierend auf einer MESA Struktur, möglich ist.
Durch chemische Gasphasenabscheidungen wird ein n-i-p-n-i-p Stapel gewachsen, der sehr dünne p-n Übergänge besitzt. Danach werden die unterschiedlichen p-i-n Dioden mit Hilfe eines neu entwickelten Ätzprozesses separat kontaktiert. Eine freistehende MESA Struktur wird dadurch erzeugt, dass alle überflüssigen Teile der Struktur durch einen hochselektiven RIE Ätzprozess entfernt werden. Diese neu geschaffene Struktur wird dann mit einer Passivierung und Metallkontakten versehen. Dadurch ist es möglich, sehr dünne und separat kontaktierte p-n Übergänge zu schaffen.
Die hergestellten Prototypen wurden einzeln und gleichzeitig spektral vermessen um eine spektrale Antwort der Dioden zu erhalten. Diese spektrale Antwort wurde durch Simulationen sowie theoretische Berechnungen bestätigt.