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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Printausgabe
EUR 19,30 EUR 18,34

E-Book
EUR 13,51

Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Joachim Kusterer (Autor)

Vorschau

Inhaltsverzeichnis, Datei (36 KB)
Leseprobe, Datei (120 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 3869552840
ISBN-13 (Printausgabe) 9783869552842
ISBN-13 (E-Book) 9783736932845
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 118
Umschlagkaschierung matt
Auflage 1 Aufl.
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Universität Ulm
Erscheinungsdatum 16.03.2010
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Elektrotechnik