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Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Markus Friedel Apel – Autorenprofil

Mitwirkend an folgenden Publikationen

Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Markus Friedel Apel

Autor

ISBN-13 (Printausgabe): 978-3-89588-938-7

Price_print

EUR 18,00 EUR 17,10

01.01.1996

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