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Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Printausgabe
EUR 18,00 EUR 17,10

Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

Markus Friedel Apel (Autor)

ISBN-13 (Printausgabe) 3895889385
ISBN-13 (Printausgabe) 9783895889387
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 100
Auflage 1
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Göttingen
Erscheinungsdatum 01.01.1996
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Physik