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Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien

Anton Bayerstadler – Autorenprofil

Mitwirkend an folgenden Publikationen

Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien
Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien
Anton Bayerstadler
Autor
ISBN-13 (Printausgabe): 978-3-86727-984-0
ISBN-13 (E-Book): 978-3-73692-984-5
Price_print
EUR 38,00 EUR 36,10
Price_ebook
EUR 26,60
14.09.2006

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