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Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien

Anton Bayerstadler – Author profile

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Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien
Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien
Anton Bayerstadler
Author
ISBN-13 (Hard Copy): 978-3-86727-984-0
ISBN-13 (eBook): 978-3-73692-984-5
Price_print
EUR 38.00 EUR 36.10
Price_ebook
EUR 26.60
2006-09-14

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