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Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik

Printausgabe
EUR 27,00 EUR 25,65

E-Book
EUR 18,90

Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik

Hartmut Gerlicher (Autor)

Vorschau

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Leseprobe, Datei (260 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 3865376258
ISBN-13 (Printausgabe) 9783865376251
ISBN-13 (E-Book) 9783736916258
Sprache
Seitenanzahl 180
Auflage 1
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Göttingen
Erscheinungsdatum 10.10.2005
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Elektrotechnik