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Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik

Hartmut Gerlicher – Autorenprofil

Mitwirkend an folgenden Publikationen

Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik
Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik
Hartmut Gerlicher
Autor
ISBN-13 (Printausgabe): 978-3-86537-625-1
ISBN-13 (E-Book): 978-3-73691-625-8
Price_print
EUR 27,00 EUR 25,65
Price_ebook
EUR 18,90
10.10.2005

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