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Einfluss der Erregungsfrequenz beim Sputterprozess

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Einfluss der Erregungsfrequenz beim Sputterprozess

Ralph Träger (Autor)

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Leseprobe, Datei (99 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 386537607X
ISBN-13 (Printausgabe) 9783865376077
ISBN-13 (E-Book) 9783736916074
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 154
Auflage 1
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Braunschweig
Erscheinungsdatum 05.10.2005
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Physik