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Ratenlimitierende Prozesse beim Gettern von Kobalt in Silizium

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Ratenlimitierende Prozesse beim Gettern von Kobalt in Silizium

Andreas Sattler (Autor)

Vorschau

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Leseprobe, Datei (80 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 3898738566
ISBN-13 (Printausgabe) 9783898738569
ISBN-13 (E-Book) 9783736908567
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 92
Auflage 1
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Göttingen
Erscheinungsdatum 01.01.2003
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Physik