Wachstumsmoden und Phasenbildung während der Molekularstrahlepitaxie von Gold auf Silizium (Tienda española)

Previo

Indice, Datei (100 KB)
Lectura de prueba, Datei (130 KB)

Die Dissertation von Yue-Lin Huang untersucht die Wachstumsmoden und Phasenbildung bei der Molekularstrahlepitaxie von Gold auf Silizium. Im Mittelpunkt steht das Verständnis der physikalischen Prozesse während der Herstellung dünner Goldschichten auf Siliziumsubstraten.

Untersucht werden sowohl die Abscheidung von reinem Gold als auch die gemeinsame Deposition von Gold und Silizium. Dabei analysiert die Arbeit den Einfluss von Substrattemperatur, Depositionsrate, Strahlzusammensetzung und Schichtdicke auf das Schichtwachstum.

Zur experimentellen Charakterisierung kommen RHEED, Transmissionselektronenmikroskopie und hochauflösende Elektronenmikroskopie zum Einsatz. Die Ergebnisse zeigen, dass bei der Abscheidung von reinem Gold zunächst pseudomorphes Lagenwachstum auftritt, bevor sich eine nichtkristalline Phase bildet. Bei der Kodeposition von Gold und Silizium entsteht diese Phase unmittelbar.

Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Bedeutung nichtkristalliner Zwischenphasen für die anschließende Bildung kristalliner Schichten. Darüber hinaus verdeutlicht die Untersuchung den Einfluss von Grenzflächeneffekten und Gitterfehlanpassungen auf die Phasenbildung.

Die Arbeit liefert wichtige Erkenntnisse über die Wachstumsmechanismen und die strukturelle Entwicklung von Metall-Halbleiter-Grenzflächen und trägt zum Verständnis epitaktischer Dünnschichtsysteme bei.