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Titelbild-leitlinien
Optimierung und Bewertung plasmapolymerer Barriereschichten durch einen alternierenden Aufbau im Rolle-zu-Rolle PE-CVD-Verfahren

Impresion
EUR 33,00

E-Book
EUR 23,10

Optimierung und Bewertung plasmapolymerer Barriereschichten durch einen alternierenden Aufbau im Rolle-zu-Rolle PE-CVD-Verfahren (Tienda española)

Stefanie Wald (Autor)

Previo

Indice, PDF (76 KB)
Lectura de prueba, PDF (130 KB)

ISBN-13 (Impresion) 9783736990029
ISBN-13 (E-Book) 9783736980020
Idioma Deutsch
Numero de paginas 150
Laminacion de la cubierta Brillante
Edicion 1. Aufl.
Lugar de publicacion Göttingen
Lugar de la disertacion Bremen
Fecha de publicacion 27.05.2015
Clasificacion simple Tesis doctoral
Area Física
Física atómica y molecular, física plasma y de gases
Ingeniería
Ingeniería mecánica y de proceso
Técnicas y tecnología de produccíon
Palabras claves plasmapolymere Barrierebeschichtung, SiOx, Maxwell-Garnett-Theorie, Void-Volumen
Descripcion

In einem Rolle-zu-Rolle-PE-CVD-Verfahren werden spröde SiOx-Barriereschichten und flexible SiOxCy-Schichten alternierend abgeschieden. Neben der Optimierung der Barrierewirkung einzelner SiOx-Schichten ist die mögliche Verbesserung der Barriereeigenschaften durch das Aufbringen von Mehrfachschichtsystemen zentraler Bestandteil dieser Arbeit. Untersuchungen bezüglich Mehrfachschichtsysteme zeigten keine Verbesserung der Barriereeigenschaften gegenüber einzelnen SiOx-Schichten. Anhand von Berechnungen der Sauerstoffpermeation auf Grundlage des Pinhole-Modells wurde festgestellt, dass Makrodefekte nicht die einzige Permeationsmöglichkeit von Sauerstoff darstellen können. Durch die ellipsometrische Bestimmung des Voidvolumens der SiOx-Schichten auf Grundlage der Maxwell-Garnett-Theorie konnte gezeigt werden, dass Nanodefekte, hervorgerufen durch den Schichtbildungsprozess, eine größere Rolle bei der Limitierung der Barriereeigenschaften spielen. Positiv hervorzuheben ist, dass durch die Abscheidung eines Mehrfachschichtsystems die Dehnbarkeit beschichteter Folien erhöht werden konnte, was eine größere Toleranz gegenüber mechanischen Beanspruchungen bei der Verwendung und Weiterverarbeitung beschichteter Folien bedeutet.