Mikroelektoden-Arrays als nicht thermische Plasmaquelle für einen weiten Druckbereich bis 1000 mbar (Band 1)

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Die Dissertation von Peter Scheffler untersucht den Einsatz von Mikroelektroden-Arrays (MEA) zur Erzeugung nicht thermischer Plasmen über einen weiten Druckbereich bis zum Atmosphärendruck. Im Mittelpunkt steht die Entwicklung und Charakterisierung mikrostrukturierter Elektrodensysteme, die durch geringe Elektrodenabstände hohe elektrische Feldstärken bei vergleichsweise moderaten Spannungen ermöglichen. Verschiedene Elektrodengeometrien, Materialien und Betriebsbedingungen werden hinsichtlich ihrer Eignung zur Erzeugung homogener, flächiger Gasentladungen untersucht. Dabei kommen sowohl Gleichspannung als auch hochfrequente Wechselspannung mit 13,56 MHz zum Einsatz. Zur Plasmadiagnostik werden laserinduzierte Fluoreszenzspektroskopie, optische Emissionsspektroskopie und Quadrupolmassenspektrometrie verwendet. Die Arbeit analysiert außerdem plasmachemische Prozesse am Beispiel von Stickoxiden und Tetrafluormethan. Die Ergebnisse zeigen das Potenzial von Mikroelektroden-Arrays für die Abgasbehandlung, Oberflächenmodifikation und weitere industrielle Anwendungen der Niedertemperaturplasmatechnik.