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Titelbild-leitlinien
Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator für die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung

Printausgabe
EUR 34,90

E-Book
EUR 24,43

Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator für die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung (Band 42)

Christian Bansleben (Autor)

Vorschau

Inhaltsverzeichnis, PDF (86 KB)
Leseprobe, PDF (150 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 9783736995307
ISBN-13 (E-Book) 9783736985308
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 136
Auflage 1.
Buchreihe Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Band 42
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort TU Berlin
Erscheinungsdatum 12.06.2017
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Elektrotechnik
Schlagwörter Differentieller, Mikrowellen-Leistungsoszillator, ultrakompakter
Beschreibung

Dieses Buch beschreibt die Entwicklung leistungsstarker Mikrowellengeneratoren bei gleichzeitiger Minimierung des Platzbedarfs. Im Fokus stehen neuartige 2,45-Gigahertz-Oszillatoren mit hohen Ausgangsleistungen im Bereich von 50 Watt. Moderne GaN-HEMTs bilden die Basistechnologie dieser Schaltungen, die sich auf einer sehr beschränkten Fläche von etwa 10 cm² realisieren lassen. Übliche Mikrowellengeneratoren sind bedeutend größer, verfügen jedoch meist über eine elektronische Frequenzabstimmung. Erstmals wird hier ein miniaturisierter Leistungs-VCO (voltage-controlled oscillator) vorgestellt, der dieses Funktionsmerkmal ebenfalls besitzt.
Infolge der substanziellen Platzeinsparung gegenüber konventionellen Generatorkonzepten eröffnen sich damit neue technologische Perspektiven. Ein zentrales Einsatzgebiet stellt die Anregung von Mikrowellenplasma dar, welches verschiedene günstige Eigenschaften für die Prozesstechnik bietet wie etwa die Behandlung großer Flächen. Kompakte Leistungsoszillatoren sind Grundlage für hochintegrierte Plasmaquellenmodule, die sich matrixförmig anordnen und auf große Areale ausdehnen lassen. Mit HF-Leistungshalbleitern des Ferdinand-Braun-Instituts wurde eine derartige Matrixplasmaquelle umgesetzt. Ihre Funktionsfähigkeit konnte anhand der Abscheidung dünner, hochpräziser Schichten aus Aluminiumoxid gezeigt werden.