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Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator für die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung

Hard Copy
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E-book
EUR 24.43

Differentieller Mikrowellen-Leistungsoszillator für die Realisierung ultrakompakter Plasmaquellen in Matrixanordnung (Volume 42)

Christian Bansleben (Author)

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Table of Contents, PDF (86 KB)
Extract, PDF (150 KB)

ISBN-13 (Hard Copy) 9783736995307
ISBN-13 (eBook) 9783736985308
Language Alemán
Page Number 136
Edition 1.
Book Series Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Volume 42
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation TU Berlin
Publication Date 2017-06-12
General Categorization Dissertation
Departments Electrical engineering
Keywords Differentieller, Mikrowellen-Leistungsoszillator, ultrakompakter
Description

Dieses Buch beschreibt die Entwicklung leistungsstarker Mikrowellengeneratoren bei gleichzeitiger Minimierung des Platzbedarfs. Im Fokus stehen neuartige 2,45-Gigahertz-Oszillatoren mit hohen Ausgangsleistungen im Bereich von 50 Watt. Moderne GaN-HEMTs bilden die Basistechnologie dieser Schaltungen, die sich auf einer sehr beschränkten Fläche von etwa 10 cm² realisieren lassen. Übliche Mikrowellengeneratoren sind bedeutend größer, verfügen jedoch meist über eine elektronische Frequenzabstimmung. Erstmals wird hier ein miniaturisierter Leistungs-VCO (voltage-controlled oscillator) vorgestellt, der dieses Funktionsmerkmal ebenfalls besitzt.
Infolge der substanziellen Platzeinsparung gegenüber konventionellen Generatorkonzepten eröffnen sich damit neue technologische Perspektiven. Ein zentrales Einsatzgebiet stellt die Anregung von Mikrowellenplasma dar, welches verschiedene günstige Eigenschaften für die Prozesstechnik bietet wie etwa die Behandlung großer Flächen. Kompakte Leistungsoszillatoren sind Grundlage für hochintegrierte Plasmaquellenmodule, die sich matrixförmig anordnen und auf große Areale ausdehnen lassen. Mit HF-Leistungshalbleitern des Ferdinand-Braun-Instituts wurde eine derartige Matrixplasmaquelle umgesetzt. Ihre Funktionsfähigkeit konnte anhand der Abscheidung dünner, hochpräziser Schichten aus Aluminiumoxid gezeigt werden.