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Editorial Cuvillier

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Editorial Cuvillier

De En Es
Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid

Impresion
EUR 38,00

E-Book
EUR 26,60

Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid (Volumen 33) (Tienda española)

Sylvia Hagedorn (Autor)

Previo

Indice, PDF (98 KB)
Lectura de prueba, PDF (260 KB)

ISBN-13 (Impresion) 9783954049851
ISBN-13 (E-Book) 9783736949850
Idioma Deutsch
Numero de paginas 176
Edicion 1. Aufl.
Serie Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Volumen 33
Lugar de publicacion Göttingen
Lugar de la disertacion TU Berlin
Fecha de publicacion 20.05.2015
Clasificacion simple Tesis doctoral
Area Física
Física de materia condensada ( incluyendo física de cuerpos solidos, optica)
Descripcion

Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.
Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.
Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.