Areas | |
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Serie de libros (90) |
1259
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Letra |
2245
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Ciencias Naturales |
5309
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Matemática | 223 |
Informática | 310 |
Física | 971 |
Química | 1346 |
Geociencias | 130 |
Medicina humana | 241 |
Estomatología | 10 |
Veterinaria | 98 |
Farmacia | 147 |
Biología | 812 |
Bioquímica, biología molecular, tecnología genética | 114 |
Biofísica | 25 |
Nutrición | 44 |
Agricultura | 992 |
Silvicultura | 202 |
Horticultura | 18 |
Ecología y conservación de la tierra | 145 |
Ciencias Ingeniería |
1712
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General |
91
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Leitlinien Unfallchirurgie
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ISBN-13 (Impresion) | 9783954049851 |
ISBN-13 (E-Book) | 9783736949850 |
Idioma | Deutsch |
Numero de paginas | 176 |
Edicion | 1. Aufl. |
Serie | Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik |
Volumen | 33 |
Lugar de publicacion | Göttingen |
Lugar de la disertacion | TU Berlin |
Fecha de publicacion | 20.05.2015 |
Clasificacion simple | Tesis doctoral |
Area |
Física
Física de materia condensada ( incluyendo física de cuerpos solidos, optica) |
Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.
Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.
Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.