Cuvillier Verlag
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Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid (Volume 33) (English shop)
Sylvia Hagedorn (Author)Preview
Table of Contents, PDF (98 KB)
Extract, PDF (260 KB)
| ISBN-13 (Hard Copy) | 9783954049851 |
| ISBN-13 (eBook) | 9783736949850 |
| Language | Alemán |
| Page Number | 176 |
| Edition | 1. Aufl. |
| Book Series | Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik |
| Volume | 33 |
| Publication Place | Göttingen |
| Place of Dissertation | TU Berlin |
| Publication Date | 2015-05-20 |
| General Categorization | Dissertation |
| Departments |
Physics
Physics of condensed matter (including physics of solid bodies, optics) |
Description
Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.
Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.
Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.
