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Cuvillier Verlag

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Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid

Hard Copy
EUR 38.00

E-book
EUR 26.60

Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid (Volume 33) (English shop)

Sylvia Hagedorn (Author)

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Table of Contents, PDF (98 KB)
Extract, PDF (260 KB)

ISBN-13 (Hard Copy) 9783954049851
ISBN-13 (eBook) 9783736949850
Language Alemán
Page Number 176
Edition 1. Aufl.
Book Series Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Volume 33
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation TU Berlin
Publication Date 2015-05-20
General Categorization Dissertation
Departments Physics
Physics of condensed matter (including physics of solid bodies, optics)
Description

Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.
Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.
Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.