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Allgemein |
90
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Leitlinien Unfallchirurgie
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ISBN-13 (Printausgabe) | 9783954049851 |
ISBN-13 (E-Book) | 9783736949850 |
Sprache | Deutsch |
Seitenanzahl | 176 |
Auflage | 1. Aufl. |
Buchreihe | Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik |
Band | 33 |
Erscheinungsort | Göttingen |
Promotionsort | TU Berlin |
Erscheinungsdatum | 20.05.2015 |
Allgemeine Einordnung | Dissertation |
Fachbereiche |
Physik
Physik der kondensierten Materie (einschließlich Festkörperphysik, Optik) |
Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.
Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.
Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.