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Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid

Printausgabe
EUR 38,00

E-Book
EUR 26,60

Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid (Band 33)

Sylvia Hagedorn (Autor)

Vorschau

Inhaltsverzeichnis, PDF (98 KB)
Leseprobe, PDF (260 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 9783954049851
ISBN-13 (E-Book) 9783736949850
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 176
Auflage 1. Aufl.
Buchreihe Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Band 33
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort TU Berlin
Erscheinungsdatum 20.05.2015
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Physik
Physik der kondensierten Materie (einschließlich Festkörperphysik, Optik)
Beschreibung

Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.
Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.
Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.