Cookies helfen uns bei der Bereitstellung unserer Dienste. Durch die Nutzung unserer Dienste erklären Sie sich damit einverstanden, dass wir Cookies setzen.

Cuvillier Verlag

33 Jahre Kompetenz im wissenschaftlichen Publizieren
Internationaler Fachverlag für Wissenschaft und Wirtschaft

Cuvillier Verlag

De En Es
Fabrication of Superconductor-Insulator-Superconductor Devices for Heterodyne Mixer Applications with Electron Beam Lithography

Printausgabe
EUR 27,00 EUR 25,65

E-Book
EUR 0,00

Fabrication of Superconductor-Insulator-Superconductor Devices for Heterodyne Mixer Applications with Electron Beam Lithography

Patrick Pütz (Autor)

Vorschau

Inhaltsverzeichnis, Datei (45 KB)
Leseprobe, Datei (130 KB)

ISBN-13 (Printausgabe) 3865370934
ISBN-13 (Printausgabe) 9783865370938
ISBN-13 (E-Book) 9783736910935
Sprache Deutsch
Seitenanzahl 178
Auflage 1 Aufl.
Band 0
Erscheinungsort Göttingen
Promotionsort Köln
Erscheinungsdatum 09.06.2004
Allgemeine Einordnung Dissertation
Fachbereiche Allgemeine Ingenieurwissenschaften
Beschreibung

Superconductor-Insulator-Superconductor (SIS) junction devices are used as state of the art frequency mixers for radio astronomical heterodyne receivers and enable near quantum limited sensitivity up to about 1 THz.

In this work an enhanced fabrication scheme for SIS junction devices has been developed and implemented into regular device fabrication at KOSMA. Electron beam lithography in combination with a chemical mechanical planarization (CMP) process has considerably improved submicron junction area reproducibility and electrical device characteristics. The fabrication scheme demonstrates enough development potential for future THz frequency SIS mixer designs.