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ISBN-13 (Printausgabe) | 3865370934 |
ISBN-13 (Printausgabe) | 9783865370938 |
ISBN-13 (E-Book) | 9783736910935 |
Sprache | Deutsch |
Seitenanzahl | 178 |
Auflage | 1 Aufl. |
Band | 0 |
Erscheinungsort | Göttingen |
Promotionsort | Köln |
Erscheinungsdatum | 09.06.2004 |
Allgemeine Einordnung | Dissertation |
Fachbereiche |
Allgemeine Ingenieurwissenschaften
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Superconductor-Insulator-Superconductor (SIS) junction devices are used as state of the art frequency mixers for radio astronomical heterodyne receivers and enable near quantum limited sensitivity up to about 1 THz.
In this work an enhanced fabrication scheme for SIS junction devices has been developed and implemented into regular device fabrication at KOSMA. Electron beam lithography in combination with a chemical mechanical planarization (CMP) process has considerably improved submicron junction area reproducibility and electrical device characteristics. The fabrication scheme demonstrates enough development potential for future THz frequency SIS mixer designs.