Cuvillier Verlag
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Fabrication of Superconductor-Insulator-Superconductor Devices for Heterodyne Mixer Applications with Electron Beam Lithography
Patrick Pütz (Autor)Vorschau
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Leseprobe, Datei (130 KB)
| ISBN-13 (Printausgabe) | 3865370934 |
| ISBN-13 (Printausgabe) | 9783865370938 |
| ISBN-13 (E-Book) | 9783736910935 |
| Sprache | Deutsch |
| Seitenanzahl | 178 |
| Auflage | 1 Aufl. |
| Band | 0 |
| Erscheinungsort | Göttingen |
| Promotionsort | Köln |
| Erscheinungsdatum | 09.06.2004 |
| Allgemeine Einordnung | Dissertation |
| Fachbereiche |
Allgemeine Ingenieurwissenschaften
|
Beschreibung
Superconductor-Insulator-Superconductor (SIS) junction devices are used as state of the art frequency mixers for radio astronomical heterodyne receivers and enable near quantum limited sensitivity up to about 1 THz.
In this work an enhanced fabrication scheme for SIS junction devices has been developed and implemented into regular device fabrication at KOSMA. Electron beam lithography in combination with a chemical mechanical planarization (CMP) process has considerably improved submicron junction area reproducibility and electrical device characteristics. The fabrication scheme demonstrates enough development potential for future THz frequency SIS mixer designs.
