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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Joachim Kusterer – Author profile

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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
Joachim Kusterer
Author
ISBN-13 (Hard Copy): 978-3-86955-284-2
ISBN-13 (eBook): 978-3-73693-284-5
Price_print
EUR 19.30 EUR 18.34
Price_ebook
EUR 13.51
2010-03-16

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