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Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid

Thomas Zilbauer – Author profile

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Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid
Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid
Thomas Zilbauer
Author
ISBN-13 (Hard Copy): 978-3-86955-270-5
ISBN-13 (eBook): 978-3-73693-270-8
Price_print
EUR 28.10 EUR 26.70
Price_ebook
EUR 19.67
2010-03-11

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