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Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik

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Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik (English shop)

Ralf Förster (Author)

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ISBN-13 (Printausgabe) 3865372287
ISBN-13 (Hard Copy) 9783865372284
ISBN-13 (eBook) 9783736912281
Language Alemán
Page Number 288
Edition 1 Aufl.
Volume 0
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation Freiburg
Publication Date 2004-09-30
General Categorization Dissertation
Departments Electrical engineering
Description

In der vorliegenden Arbeit wuden einige grundlegende Aspekte des Einsatzes des Verfahrens der elektronischen Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektode für Strukturierungsaufgaben in der Mikrosystemtechnik untersucht. Hierbei wurden insbesondere einige der für die Mikrosystemtechnik besonders interessanten Werkstoffe des Werzeug- und Formenbaus, der biomedizinischen Technik und Titanwerkstodde näher untersucht.