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Gasflussgesputterte Wärmedämmschichten

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Gasflussgesputterte Wärmedämmschichten (English shop)

Nils Rösemann (Author)

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Wärmedämmschichten werden eingesetzt, um die Temperaturbelastung von hoch beanspruchten Bauteilen in Gasturbinen zu senken. Typischerweise bestehen Wärmedämmschichten aus mit Yttriumoxid stabilisiertem Zirconiumdioxid und werden durch thermische Spritzverfahren oder Elektronenstrahlverdampfen (EB-PVD) aufgetragen.
In dieser Arbeit wird ein alternatives Beschichtungsverfahren (Gasflusssputtern – GFS) untersucht, indem die Prozessparameter (Substrattemperatur, Bias-Spannung, Druck, Sauerstofffluss, Substratoberfläche) gezielt bei der Herstellung von Zirconiumdioxid-Schichten variiert und die entstehenden Mikrostrukturen charakterisiert werden.
Um die Schichten hinsichtlich ihrer Eignung als Wärmedämmschicht zu untersuchen, wurden ausgewählte Schichten thermisch zykliert. Es werden zwei Schädigungsmechanismen beobachtet, die abhängig von der Mikrostruktur auftreten.
Insgesamt konnten in dieser Arbeit mittels GFS vielfältige Mikrostrukturen hergestellt werden, von denen drei besonders vielversprechend für die spätere Anwendung erscheinen.

ISBN-13 (Hard Copy) 9783736993860
ISBN-13 (eBook) 9783736983861
Language Alemán
Page Number 310
Lamination of Cover matt
Edition 1. Aufl.
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation Braunschweig
Publication Date 2016-11-01
General Categorization Dissertation
Departments Mechanical and process engineering
Keywords Gasflusssputtern, Wärmedämmschichten, Mikrostruktur