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Cuvillier Verlag

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Cuvillier Verlag

Electrical characterization of transition metals in silicon:

Hard Copy
EUR 30.80

E-book
EUR 21.56

Electrical characterization of transition metals in silicon: (English shop)

a study on titanium, cobalt, and nickel and their interaction with hydrogen

Leopold Scheffler (Author)

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Table of Contents, PDF (200 KB)
Extract, PDF (390 KB)

ISBN-13 (Hard Copy) 9783954049882
ISBN-13 (eBook) 9783736949881
Language English
Page Number 124
Lamination of Cover matt
Edition 1. Aufl.
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation Dresdern
Publication Date 2015-04-28
General Categorization Dissertation
Departments Physics
Physics of condensed matter (including physics of solid bodies, optics)
Keywords Silicon, transition metals, hydrogen, DLTS, MCTS
Description

Silizium ist ein wichtiger Rohstoff unserer modernen Welt. Mikroelektronik, Sensorik und Photovoltaik sind drei wichtige Anwendungsgebiete, die aus unserem täglichen Leben heute nicht mehr wegzudenken sind. Entscheidend für all diese Anwendungen ist das Verständnis der elektrischen Eigenschaften des Materials, welche durch Defekte und Verunreinigungen beeinflusst werden. Die Übergangsmetalle sind eine wichtige Klasse von Verunreinigungen im Silizium, da sie die elektrischen Eigenschaften stark beeinflussen. Auch ist bekannt, dass Wasserstoff, welcher in vielen Prozessen in Silizium eindringen kann, mit vielen Defekten reagiert. In der vorliegenden Dissertation wird die Wechselwirkung von Wasserstoff mit den Metallen Titan, Kobalt und Nickel mit Hilfe der kapazitiven Messmethoden DLTS und MCTS untersucht. Verschiedene elektrisch aktive Metall-Wasserstoff-Komplexe können nachgewiesen werden. Auch eine Passivierung der Metalle durch Wasserstoff wird beobachtet. Neben den Reaktionen mit den Metallen wird auch eine Wechselwirkung des Wasserstoffs mit im Silizium vorhandenem Kohlenstoff untersucht. Für eine Einordnung der Ergebnisse werden diese mit dem aus der Literatur bekannten Verhalten benachbarter Elemente verglichen.