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Räumliche Atomlagenabscheidung bei Atmosphärendruck zur Herstellung von Gaspermeationsbarrieren

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EUR 37.66

Räumliche Atomlagenabscheidung bei Atmosphärendruck zur Herstellung von Gaspermeationsbarrieren

Sebastian Franke (Author)

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Table of Contents, PDF (53 KB)
Extract, PDF (480 KB)

ISBN-13 (Hard Copy) 9783736995956
ISBN-13 (eBook) 9783736985957
Language Alemán
Page Number 182
Lamination of Cover matt
Edition 1.
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation Braunschweig
Publication Date 2017-08-02
General Categorization Dissertation
Departments Electrical engineering
Keywords Gaspermeationsbarriere, Atomlagenabscheidung, Atmosphärendruck-ALD OLED-Verkapselung, Barrierefolien
Description

Gegenstand der vorliegenden Arbeit ist die Entwicklung und Charakterisierung einer Beschichtungsanlage zur Herstellung von Gaspermeationsbarrieren auf Polymerfolien. Als Beschichtungsverfahren wird die vergleichsweise neuartige räumliche Atomlagenabscheidung bei Atmosphärendruck eingesetzt, die eine kostengünstige Herstellung von Barriereschichten im Rolle-zu-Rolle-Verfahren verspricht. Am Materialsystem Trimethylaluminium und Wasser zur Abscheidung von Aluminiumoxid werden die relevanten Prozessparameter der Anlage untersucht und zu deren Optimierung genutzt. Neben Wasser stehen als Co-Reaktant außerdem Ozon und ein Helium-Sauerstoffplasma zur Verfügung. Untersucht werden das Wachstum und Schichteigenschaften von AlOx, ZrOx, SiOx und SiAlxOy in Abhängigkeit vom verwendeten Co-Reaktanten, der Prozesstemperatur, der Präkursormenge und der Expositionsdauer. Aluminiumoxidschichten zeigen bei der Messung der Wasserdurchlässigkeit zwar ausgezeichnete Barriereeigenschaften, sind jedoch chemisch nicht sehr stabil. Mischschichten aus SiAlxOy haben ähnlich geringe Wasserpermeationsraten, erweisen sich jedoch chemisch als wesentlich resistenter und sind gleichzeitig mechanisch deutlich belastbarer.