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Titelbild-leitlinien
Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Schichten

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Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Schichten

Sina Malobabic (Author)

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Table of Contents, PDF (130 KB)
Extract, PDF (250 KB)

ISBN-13 (Hard Copy) 9783736992702
ISBN-13 (eBook) 9783736982703
Language Alemán
Page Number 152
Edition 1. Aufl.
Publication Place Göttingen
Place of Dissertation Hannover
Publication Date 2016-06-07
General Categorization Dissertation
Departments Physics of condensed matter (including physics of solid bodies, optics)
Keywords Optische Dünnschichttechnologie, Ionenstrahlzerstäubung, separative Verfahren, Optische Eigenschaften
Description

Nach dem heutigen Stand der Technik werden mit dem Ionenstrahlzerstäubungsverfahren (engl. Ion Beam Sputtering – IBS) optische Dünnschichtsysteme mit geringsten Verlustraten realisiert, die höchste Qualitätsstandards erfüllen. Da das IBS-Verfahren in seiner bisherigen Konzeption relativ ausgereift ist, sind künftig nur inkrementelle Verbesserungen zu erwarten.
Mit dem Ziel das IBS-Verfahren dennoch zu verbessern, wird in dem vorliegenden Werk die Möglichkeit einer Erweiterung des IBS-Verfahrens durch die Implementierung eines Separatorkonzepts vorgestellt. Mit einem auf magnetischen Feldern basierenden Separationsverfahren ist es gelungen, die Qualität optischer Schichten durch eine Verminderung von Streuwerten zu steigern. Darüber hinaus wurde so eine Zugriffsmöglichkeit auf die Plasmaspezies geschaffen, womit neue Freiheitsgrade für Manipulationen der im IBS-Verfahren ablaufenden Prozesse eröffnet wurden. Diese Möglichkeiten verleihen dem modifizierten IBS-Prozess weitreichende Gestaltungsfreiheiten, mit denen Beschichtungsabläufe optimierbar sind.